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步進(jìn)式光刻機(jī)

簡要描述:1、Nikon NSR 2205i12D步進(jìn)式光刻機(jī)
光源波長365nm
分辨率優(yōu)于0.4µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2、產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.4µm
N.A.0.63
曝光光源365nm
倍率5:1
最大曝光現(xiàn)場
22mm*22mm
對準(zhǔn)精度
LSA:60nm
FIA:70nm

  • 產(chǎn)品型號(hào):Nikon NSR 2205i12D
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-04
  • 訪  問  量: 445

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詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品概述:

Nikon NSR 2205i12D 步進(jìn)式光刻機(jī)是一款高精度的半導(dǎo)體制造設(shè)備,專為 200mm 晶圓的生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。該機(jī)型采用先進(jìn)的步進(jìn)光刻技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率和高精度的圖案轉(zhuǎn)移,廣泛應(yīng)用于集成電路(IC)、微處理器和存儲(chǔ)器等電子元件的制造。憑借其良好的成像質(zhì)量和快速的曝光速度,Nikon NSR 2205i12D 非常適合大批量生產(chǎn),同時(shí)其用戶友好的操作界面和高效的自動(dòng)化功能提升了生產(chǎn)效率。這使得 Nikon NSR 2205i12D 成為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造過程中的重要工具,滿足行業(yè)對高質(zhì)量和高效率的需求。

二、設(shè)備用途/原理:

該設(shè)備通過高強(qiáng)度光源將掩模上的圖案逐步投影到涂有光刻膠的晶圓表面。光源發(fā)出特定波長的光線,經(jīng)過高分辨率光學(xué)系統(tǒng),精確地將掩模圖案投影到晶圓上進(jìn)行曝光。曝光后,光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,隨后進(jìn)行顯影,去除未曝光或已曝光的光刻膠,從而形成所需的圖案。接著,利用刻蝕工藝將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓材料上,最后去除殘留的光刻膠。通過這一系列步驟,Nikon NSR 2205i12D 能夠高效地實(shí)現(xiàn)復(fù)雜圖形的精確轉(zhuǎn)移,滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求。

三、主要技術(shù)指標(biāo):

分辨率

0.4µm

N.A.

0.63

曝光光源

365nm

倍率

5:1

大曝光現(xiàn)場

22mm*22mm

對準(zhǔn)精度

LSA:60nm
FIA:70nm

四、設(shè)備特點(diǎn)

Nikon NSR 2205i12D步進(jìn)式光刻機(jī)

光源波長365nm

分辨率優(yōu)于0.4µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等


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