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多片式MOCVD系統(tǒng)

簡要描述：Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性、一致性、穩(wěn)定性控制，MOCVD 即金屬有機物化學氣相沉積，是一種用于生長化合物半導體薄膜的技術。它通過將Ⅲ族元素的有機化合物和氨氣或氧氣等作為晶體生長源材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

  • 產(chǎn)品型號：Satur系列
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-09-06
  • 訪  問  量： 268

詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性、一致性、穩(wěn)定性控制，MOCVD 即金屬有機物化學氣相沉積，是一種用于生長化合物半導體薄膜的技術。它通過將Ⅲ族元素的有機化合物和氨氣或氧氣等作為晶體生長源材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

2. 設備用途/原理

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性、一致性、穩(wěn)定性控制，盒對盒全自動傳輸系統(tǒng)，先進的實時監(jiān)控系統(tǒng)，友好界面與配方編輯功能，滿足 SEMI S2 安全標準。

3. 設備特點

晶圓尺寸 4、6、8 英寸，沉積材料 氮化鎵、砷化鎵、磷化銦。適用材料 硅、碳化硅、氧化鋁、砷化鎵、磷化銦。適用領域 科研、集成電路、化合物半導體。

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