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薄膜計量橢圓光譜儀

簡要描述:SENTECH SENpro 橢圓偏振光譜儀具有操作簡單、測量速度快、不同入射角橢偏振測量的組合數(shù)據(jù)分析等特點。它的測量光譜范圍為 370 nm 至 1,050 nm。該工具的光譜范圍與先進的軟件 SpectraRay/4 相結(jié)合,可以輕松確定單片薄膜和復(fù)雜層疊的厚度和折射率。

  • 產(chǎn)品型號:SENTECH SENpro
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 126

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詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

SENTECH SENpro 橢圓偏振光譜儀具有操作簡單、測量速度快、不同入射角橢偏振測量的組合數(shù)據(jù)分析等特點。它的測量光譜范圍為 370 nm 至 1,050 nm。該工具的光譜范圍與先進的軟件 SpectraRay/4 相結(jié)合,可以輕松確定單片薄膜和復(fù)雜層疊的厚度和折射率。

2. 主要功能與優(yōu)勢

離散入射角

SENTECH SENpro 光譜橢圓儀包括一個角測角儀,其入射角以 5° 步長 (40° – 90°) 進行,以優(yōu)化橢圓測量。

步進掃描分析儀原理

SENpro具有的步進掃描分析儀原理。在數(shù)據(jù)采集過程中,偏振器和補償器是固定的,以提供高精度的橢圓測量。

速度和準確性

該工具注于測量薄膜的速度和準確性,無論它們應(yīng)用于何處。應(yīng)用范圍從 1 nm 的薄層到高達 15 μm 的厚層。 

可重復(fù)且準確的結(jié)果

經(jīng)濟高效的臺式 SENTECH SENpro 包括 VIS-NIR 橢圓儀光學(xué)元件、5° 步進測角儀、樣品平臺、激光對準、光纖耦合穩(wěn)定光源和檢測單元。SENpro 配備光譜橢圓儀軟件 SpectraRay/4,用于系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析,包括建模、模擬、擬合和數(shù)據(jù)呈現(xiàn)。即用型應(yīng)用程序文件使操作變得非常容易,即使對于初學(xué)者也是如此。SpectraRay/4 支持計算機控制的均勻性測量映射。

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