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CMP后清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述：GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機(jī)集成了兩個(gè)雙刷站，設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小，可清洗(4“~12“)晶圓。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：GNP CEANER-412S
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2024-09-04
  • 訪  問(wèn)  量： 196

詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品概述：

GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機(jī)集成了兩個(gè)雙刷站，設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小，可清洗(4“~12“)晶圓。

適用晶圓尺寸:100mm(4")和300mm(12")

配置:噴淋清洗、單邊刷清洗、旋轉(zhuǎn)漂洗干燥(可選:分離QDR)

清潔器尺寸:1,100W 1,100D 1,650Hmm

電刷尺寸:070(外徑)032(內(nèi)徑)170(長(zhǎng))毫米

刷隙調(diào)節(jié):PLC自動(dòng)控制(可選刷隙范圍:-10mm ~ 2mm)

化學(xué):NH4OH ~ 1%

可用刷型:雙面PVA刷

電刷轉(zhuǎn)速:最高400rpm

旋轉(zhuǎn)速度:手動(dòng)加載與自動(dòng)順序，濕入/干出，最大2,000rpmDIW沖洗/ N2吹

2. 工藝流程

手動(dòng)加載，自動(dòng)順序，濕/干液晶觸摸屏顯示器，程序控制PLC式


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